MEMS °øÁ¤À» ÀÌ¿ëÇÑ Á÷»ç°¢Çü ¹Ù´ÃÇü ÇÁ·Îºê Ä«µå
01ÁÖ·Î ÀÚµ¿Â÷ ½ÃÀå¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â ·ÎÁ÷ µð¹ÙÀ̽º¿ë ÇÁ·Îºê Ä«µå
02°æµµ ¼ÒÀç·Î Á¦ÀÛµÈ »õ·Î¿î MEMS ÇÁ·Îºê, ³»¸¶¸ð¼º ¹× ¿À·¡ Áö¼ÓµÇ´Â ¼ÒÀç
03³ÐÀº ÇÁ·Îºù ¿µ¿ª¿¡¼ °í¿Â Å×½ºÆ® °¡´É
04³ôÀº ÇÁ·Îºê À§Ä¡ Á¤È®µµ ¹× ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ Á¢ÃË ÀúÇ×
05Á¼Àº ÇÇÄ¡ ÀåÄ¡¿Í ȣȯ °¡´É
061ÇÉ ±³Ã¼°¡ ¿ëÀÌÇÏ°í À¯Áö º¸¼ö¼ºÀÌ ¿ì¼öÇÕ´Ï´Ù.