°í¹ÐµµÈ, °í¼ÓÈ, È¿À²È¿Í °è¼Ó ÁøÈÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ ÁýÀûȸ·ÎÀÇ Å×½ºÆ®¿¡ ÀÖ¾î¼ °èÃø ½Å·Ú¼ºÀÇ ¿¼è¸¦ Áã°í ÀÖÀº °ÍÀÌ ÇÁ·Îºê Ä«µåÀÔ´Ï´Ù. ¿¥ÀÌÄÉÀÌ´Â °í°´ÀÇ ¿ä±¸ »çÇ×°ú Å×½ºÆ® ȯ°æ¿¡ ¸ÂÀº ´Ù¾çÇÑ ÇÁ·Îºê Ä«µå¸¦ Ç×»ó ÃÖ°í ¼öÁØÀÇ Ç°ÁúÀ¸·Î Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.
MEMS-SP
MEMS-V
Vertical-Probe(¼öÁ÷ ÇÁ·Îºê)