µ¶ÀÚÀûÀÎ MEMS ±â¼úÀ» ÀÀ¿ëÇÑ MEMS ÇÁ·Îºê ¡¸Micro Cantilever¡¹¿Í,
¡¸¹Ú¸· ´ÙÃþ ¹è¼± ±âÆÇ¡¹ Á¦Á¶ ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÑ ÇÁ·Îºê Ä«µå
01DRAM, Flash Memory ÀåÄ¡¿ë ´Ù¼ö µ¿½Ã ÃøÁ¤¿ë ÇÁ·Îºê Ä«µå
02´ç»çÀÇ µ¶ÀÚÀûÀÎ MEMS ÇÁ·Îºê ¡¸Micro Cantilever¡¹¿Í ¡¸¹Ú¸· ´ÙÃþ ¹è¼± ±âÆÇ¡¹ÀÇ Á¦Á¶ ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÑ ÇÁ·Îºê Ä«µå
0312ÀÎÄ¡ ¿þÀÌÆÛ ÀÏ°ý ÃøÁ¤µµ °¡´É
04¾à 2,500°³ÀÇ DUT¿Í 200,000 ÇÉÀÇ ÇÁ·Îºê¸¦ Áö¿øÇÏ´Â ´ÜÀÏ Ä«µå
05Å×½ºÅÍ ¸®¼Ò½º »ç¿ëÀ» ±Ø´ëÈÇÏ´Â È¿À²ÀûÀÎ DUT ½ÃÄö½Ì
06ÃÖÀûÀÇ Á¢ÃËÀ¸·Î ¼öÀ² Çâ»ó
01MEMS ÇÁ·Îºê¿Í Å×½ºÅÍ°¡ ÀåÂøµÈ ¹Ú¸· ´ÙÃþ ±âÆÇÀ» Á÷Á¢ µµÅ·ÇÏ´Â °æ·® Àúºñ¿ë ±¸Á¶