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Wafer상의 반도체소자에 전기적 특성을 검사하기 위한 Probe Alognment장비입니다.
연구 개발용의 Compact Size부터 양산용 자동화 기기까지의
다양한 TEST 환경을 위한 Option도 다양하게 준비하고 있습니다.

 
 

For 6" / 8"Wafer ㅣ Full Automatic Wafer Prober

   
  • Model PW-8000
최대 8인치 Wafer 대응의 Power Device 측정용 Automatic Prober입니다. 종전의 실장 후에 실시했던 대전류에 의한 특성검사를 Wafer 검사공정에서 실현 가능하게 하였습니다.최대 전압 3,000V, 전류 1,200A(Pulse)(당사 제품 Probe Block : HC-04 사용 시)의 Power 측정에도 대응. 당사 독자의 신구조 Chuck과 Contactor에 의해 저Inductance화, 저저항화를 실현하여 보다 정밀한 저R-on 측정, 대전류 특성시험을 가능하게 하였습니다.극박, TAIKO Wafer의 반송 System이나 온도 Controller 등의 Option도 모두 갖추고 있습니다.
     
 

High Current Probe Block ㅣ 대전류 대응 Probe Block

   
  • Model HC-04
대전류, 고전압에 대응하는 Probe Block입니다. 접점 온도의 상승을 억제하는 독자의 다점접촉구조로 수명이 긴 동시에 접촉 안정성이 우수하고 작은 도체 저항으로 오차를 저감시킵니다. Pin 단위의 교환이 가능하고 유지보수성도 우수합니다.
     
 

For 6" / 8" Wafer | Manual Prober

   
  • Model 705B/MP-10A
Air Bearing Stage에 의한 간단한 조작으로 신뢰성 높은 측정을 실현시킵니다.
3Steps Adjustment lever에 의한 Safety lock기구로 Needle의 파손을 방지하는 Manual Prober입니다.
     
 

For 8" Wafer | Manual Prober

   
  • Model 708Ft
fA level low leakage test, power MOSFET, IGBT등의 High Voltage 대응, Thermo Chuck 탑재가 가능한 Manual Prober입니다.
     
 

For 8" Wafer | Semi-Automatic Prober

   
  • Model AP-80
fA level low leakage test, power MOSFET, IGBT등의 High Voltage대응, 전동 Manipulator, Thermo chuck 탑재가 가능한 Semi-Auto Prober입니다.
     
 

Temperature Control System

   
  • Model AT-200/AT-300
AT-200은 Heat Chuck을 사용하여 40℃~300℃의 온도 제어가 가능합니다.
AT-300은 Thermo Chuck을 사용여 -50℃~200℃의 온도 제어가 가능합니다.